[发明专利]一种基于重力场加工闪耀光栅的方法在审
申请号: | 202110363795.2 | 申请日: | 2021-04-02 |
公开(公告)号: | CN113031141A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 高国涵;杜俊峰;边疆;雷柏平;李志炜;刘鑫;毛丹波;殷家家;汪利华;罗倩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 杨学明 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种基于重力场加工闪耀光栅的方法,该方法分解为定位侧壁加工、胶液浇筑、倾斜紫外固化和镀膜4大步骤,包括平面基底、定位侧壁、液态紫外胶、固态紫外胶、紫外光源、反射膜层;其中平面基底作为基底支撑定位侧壁并盛装液态紫外胶,在平面基底表面通过光刻、刻蚀、切削、打印等方式精密加工定位侧壁。将平面基底倾斜特定角度并利用紫外光源对液态紫外胶进行固化使其成为固态紫外胶,最后在固态紫外胶表面镀制反射膜层。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 重力场 加工 闪耀 光栅 方法 | ||
【主权项】:
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