[发明专利]一种光源波长扫描光谱共焦传感器在审
申请号: | 202110366573.6 | 申请日: | 2021-04-06 |
公开(公告)号: | CN113108696A | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 董宁;曹桂平;王雪 | 申请(专利权)人: | 合肥埃科光电科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 苗娟 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明的一种光源波长扫描光谱共焦传感器,包括可调谐滤波器和光纤环形器;宽谱光源发出的连续光,经过可调谐滤波器后变成单色光,其波长通过可调谐滤波器进行精细控制;单色光耦合到Y型光纤环形器的输入端A,并从另一端光纤C点输出;从C点出射的单色点光源经过色散镜头汇聚到光轴上,不同波长的光汇聚点不同,行成一条色散焦线;当被测物体表面位于色散焦线上时,光被表面反射,再经过色散透镜,被光纤C点接收,进而从光纤环形器B端输出,被光强探测器探测到。本发明利用锁相放大器可以有效抑制背景光的干扰,通过控制光源波长,可以只在满足共焦条件的峰值波长点附近进行扫描,也可通过变步长搜索峰值波长,获得较高的分辨率和测量速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 光源 波长 扫描 光谱 传感器 | ||
【主权项】:
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