[发明专利]一种鳍式场效应晶体管及气体簇离子束形成钝鳍的方法在审
| 申请号： | 202110366705.5 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN113178476A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 曹路;宋凤麒 | 申请（专利权）人： | 江苏集创原子团簇科技研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/10 | 分类号： | H01L29/10;H01L29/78;H01L21/02;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 赵艳平 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种鳍式场效应晶体管，包括：半导体衬底；绝缘体层，设置在半导体衬底上；多个鳍片设置在绝缘体层上；其中多个鳍的第一子集由半导体材料组成，并且其中多个鳍的第二子集由介电材料组成；其中多个鳍的第二子集由氮化硅构成并且与多个鳍的第一子集交错；和其中来自多个鳍的第一子集的鳍组与外延生长的硅合并，并且其中来自多个鳍的第一子集的至少一组鳍与n掺杂外延生长的硅合并，并且其中将来自多个鳍的第一子集中的至少另一组鳍与p型掺杂的外延生长的硅合并。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 场效应 晶体管 气体 离子束 形成 方法 | ||
【主权项】：
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