[发明专利]一种基于表面态吸收原理的垂直耦合透明光电探测器

摘要

本发明公开了一种基于表面态吸收原理的垂直耦合透明光电探测器，所述垂直耦合透明光电探测器包括：探测器和信号读出电路；所述探测器由光敏面、氧化层、金电极、及衬底组成，光敏面由半导体材料制成，待测光源为能量低于半导体禁带宽度的光源；待测光源入射到光敏面上时，通过边界态吸收造成光敏区导纳的变化；信号读出电路以器件导纳作为读出信号，待测光几乎无损耗地穿过所述探测器，从而实现对待测光的非侵入式探测。本发明拓宽了光电探测器的应用场景。