[发明专利]一种基于Ge2 在审
| 申请号： | 202110367219.5 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN113253575A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 魏涛;魏劲松;刘波;胡敬;程淼;刘倩倩;李宛飞;凌云 | 申请（专利权）人： | 苏州科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 王玉仙 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明涉及一种基于Ge |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 ge base sub | ||
【主权项】：
暂无信息
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