[发明专利]切削装置、托盘以及搬送系统在审
| 申请号： | 202110367376.6 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN113492467A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 关家一马 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;杨俊波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供切削装置、托盘以及搬送系统，该切削装置能够高效地进行板相对于子卡盘工作台的装卸。切削装置包含：卡盘工作台，其具有对被加工物单元或托盘进行保持的保持面，该被加工物单元借助带将板状的被加工物支承于环状的框架，该托盘的形状与框架对应；载置区域，其载置有收纳被加工物单元或托盘的容器；搬送单元，其具有对被加工物单元或托盘进行保持的保持垫，并且该搬送单元在载置区域与卡盘工作台之间搬送被加工物单元或托盘；子卡盘工作台，其设置于卡盘工作台的侧方，具有对用于切削单元的调整的板进行保持的保持面；以及板搬送单元，其在卡盘工作台所保持的托盘与子卡盘工作台之间搬送板。 | ||
| 搜索关键词： | 切削 装置 托盘 以及 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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