[发明专利]无尘室高速线性传输装置及其控制方法在审
| 申请号： | 202110370150.1 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN113161274A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 蔡荣华 | 申请（专利权）人： | FA自动化系统有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 新加坡樟*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种无尘室高速线性传输装置，包括非接触式轴电机和线性驱动器，所述非接触式轴电机包括固定磁性轴和磁线圈，所述固定磁性轴安装在线性传输装置两侧的夹具上；所述线性驱动器与所述非接触式轴电机连接，以给所述磁线圈提供坚固的滑动支持以使所述磁线圈与所述固定磁性轴保持非接触运动，避免了共振，使得所述线性驱动器能保持较高的速度和较长的行程；所述磁线圈为所述非接触式轴电机提供动力以纵向驱动所述线性驱动器实现预设速度、预设加速度和预定的行程，使得所述线性驱动器实现了在无尘室环境下进行高速和高精度运动，能实现较高的速度和较长的行程。本发明还公开了一种无尘室高速传输装置的控制方法。 | ||
| 搜索关键词： | 无尘室 高速 线性 传输 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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