[发明专利]一种适用于外延材料的RT探测器及其应用在审
| 申请号： | 202110370511.2 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN113252208A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 刘雪珍;张小宾;高熙隆;黄珊珊;杨文奕 | 申请（专利权）人： | 中山德华芯片技术有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/125 | 分类号： | G01K11/125;H01L31/12 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 伍传松 |
| 地址： | 528437 广东省中山*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种适用于外延材料的RT探测器及其应用，该RT探测器包含光源和接收器；所述光源与接收器一一对应；所述光源用于发出入射光，所述入射光传播到外设外延片表面形成光信号；所述光源与所述外设外延片一一对应；所述入射光的波长连续可调；所述光源的形状设计为眼球状；所述光源通过传动轴与动力装置相连接；所述子接收器用于接收由对应外延片形成的光信号，并对所接收的光信号进行光电转换以获得电信号；该探测器能实现对轻微翘曲表面的温度监控及晶格匹配的外延片制备过程中生长温度的精确监控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 外延 材料 rt 探测器 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山德华芯片技术有限公司，未经中山德华芯片技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110370511.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
