[发明专利]一种工艺参数调节动作决策模型的优化方法以及装置

摘要

本申请提供了一种工艺参数调节动作决策模型的优化方法以及装置。所述优化方法包括：获取工艺参数调节动作初始决策模型；通过初始决策模型获取样本数据集，训练专家评判初始网络，得到专家评判模型；使用初始决策模型生成待评判序列，在专家评判模型的模型参数不变的情况下，使用专家评判模型对待评判序列进行判断，得到待评判序列的认可结果，基于所述认可结果，更新所述初始决策模型的模型参数，得到工艺参数调节动作目标决策模型。这样，本申请使用专家评判模型对决策模型的模型参数进行优化，并且采用渐进式的确认方式来更新模型参数，有助于提高决策模型生成工艺参数调整动作的准确度。