[发明专利]研磨材料、研磨用组合物、及研磨方法在审
| 申请号： | 202110375215.1 | 申请日： | 2015-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN113512402A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 山田英一;玉井一诚 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种研磨材料、研磨用组合物、及研磨方法。本发明提供能够通过研磨去除树脂涂膜的外表面的波纹、并且不易产生研磨损伤的研磨材料、研磨用组合物、及研磨方法。研磨用组合物含有由比表面积为5m |
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| 搜索关键词： | 研磨 材料 组合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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