[发明专利]二次相可控锌铝氧化物溅射靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202110377477.1 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113149633A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;孙本双;舒永春;曾学云;刘笑开;何季麟 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622;C04B35/638 |
| 代理公司： | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人： | 朱春野 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 二次相可控锌铝氧化物溅射靶材的制备方法，包括：氧化锌粉体与氧化铝粉体以摩尔比1:1混合均匀得第一混合粉体，第一混合粉体在氧气氛中煅烧处理，生成铝酸锌粉体；其中，煅烧温度设定为1000～1400℃，煅烧处理时间设定为2～20小时；生成的铝酸锌粉体与氧化锌粉体以摩尔比0.015～0.02混合得到第二混合粉体，第二混合粉体与设定比例的水、分散剂和粘结剂混合，得到固含量大于80％、粘度小于100mPa·s的锌铝氧化物浆料；生成的锌铝氧化物浆料压力注浆成型得到相对密度大于60％的锌铝氧化物靶材素坯；锌铝氧化物靶材素坯进行干燥处理；干燥后的锌铝氧化物靶材素坯进行脱脂烧结处理，得到二次相可控锌铝氧化物溅射靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 二次 可控 氧化物 溅射 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于郑州大学，未经郑州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110377477.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种柔性支撑的防潮纸箱
- 下一篇：一种降压线
