[发明专利]一种降低主结体电场的积累场效应晶体管及其制作方法在审
申请号: | 202110379146.1 | 申请日: | 2021-04-08 |
公开(公告)号: | CN113270477A | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 段宝兴;王彦东;杨银堂 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 唐沛 |
地址: | 710071*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: |
本发明公开一种降低主结体电场的积累场效应晶体管及其制作方法。该器件中设置积累介质层,覆盖P型基区与N |
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搜索关键词: | 一种 降低 主结体 电场 积累 场效应 晶体管 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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