[发明专利]一种半导体芯片器件双面电学、光学检测探针台系统在审
| 申请号： | 202110379679.X | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN112881901A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 陆冰彬 | 申请（专利权）人： | 英铂科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04;G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 戚红 |
| 地址： | 200000 上海市松江区石湖*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体测试技术领域，公开了一种半导体芯片器件双面电学、光学检测探针台系统，包括探针安装架和设置在探针安装架上的定位调节装置，探针安装架包括上层安装板和下层安装板，上层安装板和下层安装板中间留有垂直方向上贯通的检测操作空间，定位调节装置位于检测操作空间内，上层安装板和下层安装板上分别设有上层探针座和下层探针座；本发明提供的一种半导体芯片器件双面电学、光学检测探针台系统，解决了现有双面探针台用的样品定位夹具其操作麻烦以及设备结构复杂，成本较高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 芯片 器件 双面 电学 光学 检测 探针 系统 | ||
【主权项】：
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