[发明专利]一种谐振式高压传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110379977.9 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113091984A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 陈德勇;尉洁;王军波;鲁毓岚;谢波;项超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;G01L9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种谐振式高压传感器，包括：本体，本体制作有第一谐振器、第二谐振器、第一压力敏感膜和第二压力敏感膜；第一谐振器位于第一压力敏感膜上，且靠近第一压力敏感膜的中心；第二谐振器位于第二压力敏感膜上，且靠近第二压力敏感膜的边缘。谐振式高压传感器还包括玻璃盖板，玻璃盖板上制作有第一空腔和第二空腔，第一空腔和第二空腔具有相同的结构；第一空腔的位置与第一压力敏感膜的位置相对应，第二空腔的位置和第二压力敏感膜的位置相对应。本公开采用集成式多膜耦合的方式，利用多膜耦合使双谐振梁可表征传感器的压力和温度，利用得到的温度参数实现谐振式高压传感器温度自补偿，提高压力测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 高压 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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