[发明专利]一种MEMS热电堆红外探测器及其制作方法有效
| 申请号： | 202110380036.7 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN112802956B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 山东新港电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/28 | 分类号： | H01L35/28;B81B7/00;B81B7/02;G01J5/12;H01L35/34 |
| 代理公司： | 潍坊中润泰专利代理事务所(普通合伙) 37266 | 代理人： | 田友亮 |
| 地址： | 261200 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS热电堆红外探测器及其制作方法，该红外探测器包括：衬底，设有隔热腔体；支撑层，形成于衬底的上表面；热电堆单元，形成于支撑层上，从下至上依次包括第一热偶层、第一绝缘层和第二热偶层，且第一、第二热偶层通过第一绝缘层中的第一接触孔连接；第二绝缘层、电磁屏蔽层、红外吸收层，依次形成于热电堆单元上，且对红外吸收层和第二绝缘层局部刻蚀出第二接触孔。本发明通过在红外吸收层下方设置可接地的电磁屏蔽层，实现电磁屏蔽，从而有利于减小测量误差，提高探测器的可靠性；此外，该电磁屏蔽层还可对被测物体产生的红外辐射进行反射，有助于红外吸收层进行二次吸收，从而提高其红外吸收率，增强红外探测性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 热电 红外探测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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