[发明专利]一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料及其制备方法有效
申请号: | 202110380978.5 | 申请日: | 2021-04-09 |
公开(公告)号: | CN113084176B | 公开(公告)日: | 2023-08-18 |
发明(设计)人: | 康雨航;张伟堂;毛样武 | 申请(专利权)人: | 武汉工程大学 |
主分类号: | B22F7/04 | 分类号: | B22F7/04;C22C21/12;C22C9/00 |
代理公司: | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人: | 裴金华 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: |
本发明公开了一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料及其制备方法。一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料,其包括自支撑金刚石膜、Cu基体和位于自支撑金刚石膜和Cu基体之间的复合层;该复合层具有三层结构,该复合层包括与自支撑金刚石膜相邻的Ag‑Cu‑Ti箔层、中间W箔层和与Cu基体相邻的Cu‑TiH |
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搜索关键词: | 一种 支撑 金刚石 cu 复合 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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