[发明专利]基于表面热透镜技术测量薄膜元件及体材料热扩散率的装置和方法有效
| 申请号： | 202110382141.4 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113203680B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 李大伟;胡晨璐;刘晓凤;赵元安;连亚飞;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/84 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于表面热透镜技术测量薄膜元件及体材料热扩散率的装置和方法，包括泵浦光激光器、泵浦光路功率调节部件、斩波器、泵浦光路反射镜、泵浦光路透镜、透镜二维位移平台、待测样、样品二维位移平台、探测光激光器、探测光路功率调节部件、探测光路反射镜、探测光路透镜、光阑、探测器、探测器二维位移平台、计算机、锁相放大器。本发明通过光热信号的相位与探测距离之间的关系，以及热扩散长度与调制频率的关系计算出薄膜材料的热扩散率。本发明可有效实现对薄膜元件及体材料的热扩散率测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 表面 透镜 技术 测量 薄膜 元件 材料 扩散 装置 方法 | ||
【主权项】：
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