[发明专利]一种CVD尾气管道清洗装置在审
| 申请号： | 202110382178.7 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113182288A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 黄海静 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 张晓薇 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例公开了一种CVD尾气管道清洗装置及清洗方法。所述清洗装置设置于真空泵和尾气处理装置之间，所述清洗装置包括：主管道，所述主管道上设置有两个第一阀门，分别设置于所述主管道的两端；第一进口管道和出口管道，设置于所述两个第一阀门之间的所述主管道上；所述第一进口管道和所述出口管道分别与所述主管道流体连接；所述第一进口管道上设置有第二阀门，所述出口管道上设置有第三阀门；所述第一进口管道设置于所述主管道的上方；所述出口管道设置于所述主管道的下方。本申请管道清洗装置，可以直接清洗真空泵至尾气处理装置的管路内的粉末，不用拆管，减少清洗时间，减少了人力和物力投入，提升了清洗效率，进而提高了产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 尾气 管道 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于TCL华星光电技术有限公司，未经TCL华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110382178.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
