[发明专利]0.5um分辨率大视场在线投影加工系统

摘要

本发明公开了0.5um分辨率大视场在线投影加工系统，包括加工设备本体，所述加工设备本体的上端设置有磨具机构，所述磨具机构的一侧设置有夹具机构，所述夹具机构的下端设置有光源发射器，所述磨具机构的上端设置有投影装置，所述投影装置的外表面设置有显示模组，所述投影装置的下端外表面设置有投影接收头，所述加工设备本体的上端外表面设置有水平尺，所述加工设备本体的下端设置有调平结构。本发明所述的0.5um分辨率大视场在线投影加工系统，加工过程中能够进行实时监测，提高了加工精度，从而保证加工质量，提高加工效率，方便对设备进行调平，避免设备处于不水平地面时出现晃动、设备不水平时影响加工精度，进一步提高了加工质量。