[发明专利]一种正面感风背面引线的膜式风速风向传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 202110382708.8 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113092809B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 王振军;秦明;易真翔;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/00 | 分类号： | G01P5/00;G01P13/02;G01K7/22 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 任志艳 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种正面感风背面引线的膜式风速风向传感器，首先将刻有深腔的硅晶圆与玻璃晶圆键合，通过玻璃回流工艺填充深腔，然后在减薄抛光后的玻璃一面加工加热和测温元件并淀积钝化层进行保护。最后对背面的硅进行刻蚀，形成玻璃厚膜、隔热环以及导电柱结构。玻璃厚膜提供足够的机械强度，以放宽对封装应力的容限。隔热环削减热量向衬底四周传递，使更多热量通过对流换热传递到空气中，以提高传感器的灵敏度。导电柱将芯片正面的电信号引至芯片背面，以实现正面感风背面引线的封装方式。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 正面 背面 引线 风速 风向 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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