[发明专利]一种提高光栅读数间隙容差的测量装置有效
| 申请号： | 202110387509.6 | 申请日： | 2021-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN113175881B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 叶国永;张争辉;刘红忠;赵国博;张宁宁 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种提高光栅读数间隙容差的测量装置，包括光尺读数头和标尺光栅，光线直接穿过标尺光栅发生衍射和干涉，根据泰伯效应，在泰伯曲面附近沿着标尺光栅长度的方向形成“光尺”，由光尺读数头进行“光尺”上强度的读取，标尺光栅为三维结构化的相位透射光栅，增大了在标尺光栅后面同一空间距离附近的成像深度；光尺读数头由光源和半导体感光元件组成；本发明通过对标尺光栅进行结构改造，改变标尺光栅之后的泰伯像的成像深度信息，直接根据同一深度处的光强大小作为位移大小的数据判断依据；增大了在标尺光栅后面同一空间距离附近的成像深度，从而增加了半导体光电接受元件的安装空间范围，也就是说提高了光栅读数间隙的容差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 光栅 读数 间隙 测量 装置 | ||
【主权项】：
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