[发明专利]晶圆夹持旋转机械手在审
| 申请号： | 202110388523.8 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN113103252A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;古市昌稔;曲泉铀 | 申请（专利权）人： | 上海广川科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;吴世华 |
| 地址： | 200444 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆夹持旋转机械手，包括晶圆末端执行器、夹持组件、第一同步带组件及第二同步带组件，晶圆支撑于晶圆末端执行器上，夹持板间距设于所述晶圆末端执行器上，且沿所述晶圆的圆周方向活动设置，所述第一同步带组件驱动第一传动轴带动第一轴承、导杆及夹持板绕所述第一轴承的轴向旋转运动，并同步驱动晶圆末端执行器绕所述第一轴承的轴向同向旋转；所述第二同步带组件传动连接第二轴承，驱动所述第二轴承带动所述导杆沿所述第一轴承的轴向往返运动，并传动所述夹持板沿所述晶圆的圆心伸缩运动。通过分设第一同步带组件和第二同步带组件实现了晶圆的翻转和夹持，实现了多工位的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持 旋转 机械手 | ||
【主权项】：
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