[发明专利]一种超薄大尺寸LTCC陶瓷基板的制备方法

摘要

一种超薄大尺寸LTCC陶瓷基板的制备方法，通过ZnO和Nb2O5按摩尔配比混料预烧合成而获得的ZnNb2O6体系作为基础体系；通过复合高介电常数TiO2材料调整材料体系介电常数；通过添加烧结助剂降低体系烧结温度；通过引入砂磨工艺降低粉体粒径，使粉体比表面积增大，继而增大粉体的反应活性；在砂磨得到的粉体中，加入溶剂、分散剂和消泡剂进行一次球磨制备浆料，补入粘结剂、溶剂进行二次球磨制备流延料；流延、叠片、等静压、切割后按LTCC工艺烧结成型。解决了现有超薄大尺寸陶瓷基板在烧结过程中产生翘曲、卷边、破碎等问题。所制得基板尺寸与厚度尺寸的比例可达到5000∶1，在电子元器件小型化领域具有广泛的应用。