[发明专利]感光性组合物、经图案化的固化膜的制造方法及经图案化的固化膜在审
| 申请号： | 202110390190.2 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN113515011A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 加藤广树;染谷和也;引田二郎 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;唐峥 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及感光性组合物、经图案化的固化膜的制造方法及经图案化的固化膜。提供能形成相对介电常数低的固化物且能够在具有高低差的基板上形成保形性良好的涂布膜的感光性组合物、该感光性组合物的固化物、和使用该感光性组合物的固化物的制造方法。在包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)和光聚合引发剂(C)的感光性组合物中，使用包含特定量的来自(甲基)丙烯酸多环烷基酯的结构单元(A‑1)且重均分子量为9,000以上的丙烯酸系树脂作为碱溶性树脂(A)。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 组合 图案 固化 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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