[发明专利]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 202110390438.5 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN113151786B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 何瑞亭;李晓康 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司;武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 王芳芳 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供一种蒸镀装置，包括坩埚本体，其为中空板，包括腔体；多个出料管，均匀分布于所述坩埚本体的底面，其一端的管口连通至所述腔体，其另一端的管口朝向地面；多个坩埚筒，每一坩埚筒设置于两个以上相邻的出料管之间；所述坩埚筒包括一筒口，连通至所述中空板的腔体；以及多个入料口，设于所述坩埚本体的顶面，连通至所述腔体，每一入料口与一坩埚筒的筒口相对设置。本申请可能够有效提高良率、提高产能、节约人力，提高精细掩模板的稳定性和寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
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