[发明专利]一种场效应晶体管生物传感器及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202110390829.7 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN113130656A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 梁凌燕;俞家欢;曹鸿涛;孙博 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/423;C12Q1/02 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种场效应晶体管生物传感器，包括场效应晶体管和生物探测板；场效应晶体管包括第一载体、第一栅电极、栅介质层、沟道层、漏电极和源电极；生物探测板包括导电薄膜、纳米结构和生物分子，其中，所述导电薄膜形成于所述第一栅电极上，并与所述栅介质层间隔设置，所述纳米结构形成于所述导电薄膜表面，该纳米结构表面固定生物分子。本发明还公开一种场效应晶体管生物传感器的制备方法。本发明公开的场效应晶体管生物传感器高灵敏度、低探测下限。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 场效应 晶体管 生物 传感器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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