[发明专利]一种VOCs气体传感器阵列的制备及检测方法有效
| 申请号： | 202110392178.5 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113109308B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 施云波;李萍;孙宇霆;张欢欢;冯侨华 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种VOCs气体传感器阵列的制备及检测方法，属于VOCs气体传感器研究领域。通过在不同MEMS芯片上涂覆不同敏感材料制备传感器阵列，传感器阵列与VOCs气体反应后，在LED紫外灯激发下，传感器阵列上的敏感材料产生荧光颜色的变化，通过微型摄像头模组采集反应前后的图像，利用图像处理技术提取各传感器单元对应位置上RGB的变化值，判断VOCs气体的种类；同时，MEMS芯片叉指电极两端产生电信号的变化，利用此变化获得气体的响应曲线，判断出VOCs气体的浓度值；结合在同一传感阵列上检测到的两类变化，实现VOCs气体的定性和定量测量。本发明所制备的气体传感器阵列尺寸微小、制造成本低、易于集成，检测方法简单高效，检测范围广，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 vocs 气体 传感器 阵列 制备 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨理工大学，未经哈尔滨理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110392178.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
