[发明专利]一种双动极板电容式压力敏感芯片有效
| 申请号： | 202110392196.3 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN112964417B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 揣荣岩 | 申请（专利权）人： | 午芯（辽宁省）高科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双动极板电容式压力敏感芯片。该芯片包括刻有凹槽及进压通道的单晶硅衬底，感压上极板，感压下极板，介质层，密封腔体，其特征在于：敏感结构中上、下两极板均可感压并可动，通过在结构中设置进压通道，使得外界压力可由进压通道经凹槽作用于下极板。当有外界压力存在时，上、下极板会同时受到压力作用发生形变，形成双动效果，两极板通过压焊点与外部电路连接成压力检测电路，将压力信号转换成电信号输出。本压力敏感芯片具有灵敏度高、线性度好、线性量程范围大、温度漂移小、过载能力强、制造工艺与集成电路工艺兼容等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 极板 电容 压力 敏感 芯片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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