[发明专利]一种可用于机械手传输的托盘

摘要

本发明属于薄膜沉积设备技术领域，具体提供了一种可用于机械手传输的托盘，该托盘具有第一托起部、第二托起部及支撑部，所述两个托起部固定连接。第一托起部与第二托起部上分别凹进设有沟槽空间，两个托起部的沟槽空间对应匹配形成一可放置支撑部的容置空间；所述支撑部的弹性变量小于两个托起部。本技术方案通过以高强度、热变形小的材料作为托盘骨骼，可以限制、减少高温时整个铝托盘的弹性变形以及塑性变形，延长了铝托盘的使用寿命，增加了工艺的稳定性。