[发明专利]用于纳米量热仪定位衬底蒸镀的硅掩模装置

摘要

本发明涉及一种用于纳米量热仪定位衬底蒸镀的硅掩模装置，具有较小的尺寸，设计有用于保护传感器主体部分的空腔以及用于收集蒸镀产生的金属蒸汽的通孔，通孔截面的最长处仅有几十至几百μm，采用刻蚀机加工而成。通过下底面的定位装置可以将所述硅掩模装置与传感器进行良好的装配，使其能在蒸镀过程中保护传感器的非蒸镀区域不受影响，还能够精确控制衬底材料镀覆的位置，仅在测试区域获得传感器表面具有不同厚度，不同晶体结构和成分的衬底界面。所述硅掩模装置制备方法简单，实用性高，以简易的装置实现了微小区域衬底材料的蒸镀，提高了纳米量热仪定位衬底蒸镀的区域控制能力。