[发明专利]一种避免边缘出现杂散信号的背照式CCD结构有效
| 申请号： | 202110394941.8 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113113441B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 汪朝敏;周建勇;韩恒利;王廷栋;江海波;何达;陈顺昌;尹俊;王小东;刘昌林 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
| 主分类号： | H01L27/148 | 分类号： | H01L27/148 |
| 代理公司： | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人： | 卢胜斌 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明属于CCD器件技术领域，特别涉及一种避免边缘出现杂散信号的背照式CCD结构，该结构包括：衬底、背面介质层以及背面金属层；所述背面介质层设置在所述衬底上，所述背面金属层设置在所述背面介质层上；所述背面介质层上设置有接触孔，所述接触孔将背面金属层与衬底连通，形成背照式CCD结构；本发明通过在背面介质层设置接触孔，使得背面金属层与芯片衬底电学互联，形成低阻回路，避免了由于衬底回路不畅导致的图像边缘呈现亮条的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 避免 边缘 出现 信号 背照式 ccd 结构 | ||
【主权项】：
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