[发明专利]一种基于铝掺杂氧化铌的选通器件及其制备方法有效
| 申请号： | 202110395190.1 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113130744B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 马国坤;桃李;万厚钊;段金霞;饶毅恒;董文静;刘能帆;陈傲;王浩 | 申请（专利权）人： | 湖北大学 |
| 主分类号： | H10N70/20 | 分类号： | H10N70/20;H10B63/00 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 张文俊 |
| 地址： | 430062 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于铝掺杂氧化铌的选通器件及其制备方法，该选通器件包括底电极；转变层，位于底电极一侧表面；顶电极，位于转变层远离底电极一侧表面；其中，转变层的材料为铝掺杂氧化铌薄膜，转变层中铝掺杂的摩尔百分比为m，0.1％≤m＜1.5％。本发明的基于铝掺杂氧化铌的选通器件，转变层为铝掺杂氧化铌薄膜，通过铝掺杂提升了氧化铌高阻态的势垒，增加高阻态电阻，相比传统的转换层为氧化铌的选通管具有更高的选通比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 掺杂 氧化 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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