[发明专利]涂布在线监测方法、装置、设备和存储介质有效
| 申请号： | 202110395574.3 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113310619B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 夏俭波;李青桦;陈志刚;徐鹏飞 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L11/00 | 分类号： | G01L11/00;G01R31/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 王程 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种涂布在线监测方法、装置、设备和存储介质。其中，涂布在线监测方法包括：获取涂布机台电磁阀组当前的电磁阀动作信号，根据电磁阀动作信号确定当前涂布工作状态；获取涂布腔体的当前压力值；在当前压力值超过当前涂布工作状态对应的阈值的情况下，输出报警信息。本申请能够实时监测涂布腔体管路压力值，监控各涂布工作状态的压力曲线是否异常，从而判断机台HMDS在哪个工作进程下出现异常，极大地缩小了判断范围及复机时间。 | ||
| 搜索关键词： | 在线 监测 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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