[发明专利]一种便于在线实时清理的CVD炉过滤装置有效
| 申请号： | 202110397124.8 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113058342B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 张艳萍;任金伟;陈涛;陶庆;葛启超;胡明喆;刘汉和;何冰 | 申请（专利权）人： | 西安航空制动科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/88 | 分类号： | B01D46/88;B01D46/12;B01D46/24;B01D46/48 |
| 代理公司： | 西安凯多思知识产权代理事务所(普通合伙) 61290 | 代理人： | 康进兴 |
| 地址： | 713106 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种便于在线清理的CVD炉过滤装置，过滤箱的进气口与炉体连通，并在过滤箱与炉体之间增加了波纹管和气动挡板阀；在该过滤箱内底部安放有集油盘。两个滤芯通过托块安放在废气排出管道内的两端，并使两个滤芯分别与一个真空泵的接口相对应，且各滤芯轴向长度的1/2处与所述真空泵接口的圆心相对应，使该滤芯在该废气排出管道内将真空泵的接口完全遮挡。该过滤箱的出气口通过管道与废气排出管道连通，在该废气排出管道的圆周上开有两个真空泵接口，使该废气排出管道形成了三通管。本发明不需停炉随时可清理真空沉积炉中的残留焦油，实现了真空沉积炉的连续运行，并且无需更换真空泵，仅此一项即可节省经费8～15万。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 在线 实时 清理 cvd 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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