[发明专利]一种超薄聚酰亚胺薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202110397840.6 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN113150338A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;郭哲俊;王隆春;奚野;涂柯俊 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C08J5/18 | 分类号： | C08J5/18;C08L79/08 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银;赵楠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种超薄聚酰亚胺薄膜及其制备方法，包括：向聚酰胺酸溶液中加入溶剂，充分混合，形成混合溶液；对混合溶液进行除气；将混合溶液旋涂于硅片或玻璃片的表面上形成薄膜；将旋涂有薄膜的硅片或玻璃片放入真空炉中，排除真空炉中的空气并抽真空，对薄膜加热，使聚酰胺酸发生环化反应形成超薄聚酰亚胺薄膜。本发明制备的超薄聚酰亚胺薄膜的厚度为200nm‑1000nm，具有制备方法简单稳定的优点，所制备的纳米级的超薄聚酰亚胺薄膜适用于所有MEMS工艺制备的小型化植入式柔性器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 聚酰亚胺 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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