[发明专利]一种碲化锌靶材的绑定方法有效
| 申请号： | 202110397853.3 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113275730B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 余芳;文崇斌;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/02 | 分类号： | B23K20/02;B23K20/24;B23K20/26;B23K20/22 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种碲化锌靶材的绑定方法，属于溅射靶材制备领域。本发明所述碲化锌靶材的绑定方法以特定的绑定顺序以及通过多段式梯度升温及降温程序设置，可有效减少靶材及背板、焊料三者间因材质不同、热膨胀系数不同导致的绑定时出现的裂纹缺陷，无需额外繁琐的预处理步骤以及苛刻的设备环境条件，显著提升靶材的绑定品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碲化锌靶材 绑定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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