[发明专利]一种具有双重光路隔离的微透镜阵列及其制备方法有效
| 申请号： | 202110399549.2 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN113267837B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 杨斌;翟玥琦;路礼军;刘景全 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银;赵楠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有双重光路隔离的微透镜阵列及其制备方法，包括：第一层负性光刻胶的上表面形成若干呈阵列式排布的微型复眼透镜；设置于第一层负性光刻胶下表面上作为隔离层的Parylene薄膜；设置于Parylene薄膜下表面的黑色光刻胶层，黑色光刻胶层形成隔离阵列，且隔离阵列位于相邻两个微型复眼透镜之间，用以阻挡相邻光路之间串扰；设置于黑色光刻胶层外表面的第二层负性光刻胶第二层负性光刻胶作为基底；且第二层负性光刻胶填充于隔离阵列之间缝隙中，并覆盖于黑色光刻胶层表面上。本发明利用微纳加工制备具有阻挡相邻光路之间串扰问题的黑色光刻胶层和自身具有自书写能力的负性光刻胶，通过对入射光进行双重隔离从而实现高分辨率成像的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 双重 隔离 透镜 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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