[发明专利]图案化材料、图案化组合物和图案形成方法在审
| 申请号： | 202110402526.2 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN115220300A | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 张磊;仪晓凤;王迪;张宇 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F1/76 |
| 代理公司： | 北京格罗巴尔知识产权代理事务所(普通合伙) 11406 | 代理人： | 孙德崇 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及一种图案化材料、图案化组合物和图案形成方法。本申请的图案化材料具有金属氧团簇骨架、辐射敏感性有机配体和第二配体，所述辐射敏感性有机配体经由配位原子而与金属M配位，所述配位原子为选自氧原子、硫原子、硒原子、氮原子、磷原子中的至少一种，并且所述辐射敏感性有机配体为单齿配体或者为两齿以上的配体；所述第二配体为无机离子或配位基团。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 材料 组合 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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