[发明专利]一种兼具大量程和高精度的双环式微机械陀螺结构

摘要

本发明具体是一种兼具大量程和高精度的双环式微机械陀螺结构。解决了现有微机械振动陀螺无法兼具大量程和高精度的问题。一种兼具大量程和高精度的双环式微机械陀螺结构，包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分；所述谐振子部分包括圆环状内层谐振质量、圆环状外层谐振质量、圆柱状中心锚点、八个块状外围锚点、八根轮辐状内侧弹性支撑悬梁、八根轮辐状外侧弹性支撑悬梁；所述电极部分包括四个弧形内层驱动模态位移测量电极、四个弧形外层驱动模态位移测量电极、四个弧形内层检测模态位移测量电极、四个弧形外层检测模态位移测量电极、八对弧形内层控制电极、八对弧形外层控制电极。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。