[发明专利]一种晶圆低可靠性失效管芯的标注方法和装置在审
| 申请号： | 202110406245.4 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113148946A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 易丛文;徐文丞;林孟喆;戴静安 | 申请（专利权）人： | 筏渡（上海）科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 周良玉 |
| 地址： | 200090 上海市杨浦区长阳*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明实施例提供了一种低可靠性失效管芯的标注方法和装置，该方法包括：根据第一晶圆图获取若干第一管芯；第一管芯通过预先进行的第一低可靠性失效标注被认定为低可靠性失效，第一低可靠性失效标注基于晶圆功能测试的结果进行；对若干第一管芯进行可靠性测试，获得可靠性测试结果；根据可靠性测试结果和所述晶圆功能测试的结果，确定第二低可靠性失效标注依据的第一数值边界。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆低 可靠性 失效 管芯 标注 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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