[发明专利]进行激光烧蚀的方法和装置在审
| 申请号： | 202110407590.X | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113523579A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | A·N·布伦顿 | 申请（专利权）人： | 万佳雷射有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/06;B23K26/60;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 李凤蓉;臧建明 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了用于进行激光烧蚀的方法和装置。在一种布置中，紫外线激光束被引导通过掩模以将由掩模限定的一部分烧蚀图案成像到材料层上。在掩模上扫描激光束，以将烧蚀图案的不同部分依次成像到该层的不同相应区域上。从而将与烧蚀图案相对应的结构烧蚀到该层中。激光束包括脉冲长度小于20皮秒的超快脉冲激光束。 | ||
| 搜索关键词： | 进行 激光 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于万佳雷射有限公司，未经万佳雷射有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110407590.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
