[发明专利]一种子脉冲时间间隔可调的激光脉冲序列硅孔加工系统在审
| 申请号： | 202110408841.6 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113385837A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 贾天卿;张枫茁;陈天琦;陈龙;曹凯强;孙真荣 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/067;B23K26/70 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种子脉冲时间间隔可调的激光脉冲序列硅孔加工系统，其特点是采用法布里珀罗腔与光源输入单元、样品加工单元和同轴监测单元组成的硅孔加工系统，产生子脉冲时间间隔在1~3500 ps范围内连续可调的脉冲序列，实现对喷出物质的二次烧蚀的硅孔加工，所述光源输入单元由激光器与圆形渐变中性滤光片、偏振分束立方、四分之一波片连接的光路构成；所述样品加工单元由反射镜和物镜连接的光路与三维平移台组成；所述同轴监测单元由分束镜和白光光源连接的光路与CCD相机组成。本发明与现有技术相比具有精准控制后续子脉冲到达样品表面的时间，实现对喷出物质的二次烧蚀，减少孔周围的重熔物质堆积，提高加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 种子 脉冲 时间 间隔 可调 激光 序列 加工 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华东师范大学，未经华东师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110408841.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
