[发明专利]一种MEMS热温差式流量传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110410006.6 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN115218975A | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 田伟;胡国庆 | 申请（专利权）人： | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS热温差式流量传感器及其制作方法，该流量传感器包括：衬底，设有隔热腔体；介质层，形成于衬底及隔热腔体的上表面；微加热器及热敏电阻，形成于介质层的上表面，且微加热器及热敏电阻局部位于隔热腔体的上方；铂黑，至少覆盖部分微加热器及热敏电阻。本发明所公开的流量传感器制备过程简单，可控性强，兼容性高；通过在微加热器及热敏电阻上形成铂黑，有利于增大其表面积，从而加快与气体分子之间的换热效率，提高器件的灵敏度；此外，表面积的增大还有利于提高微加热器的热利用率，从而起到降低功耗的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 温差 流量传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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