[发明专利]一种自动化镀膜系统有效
| 申请号： | 202110410226.9 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113278941B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 魏国军;李景薇;鲁程龙 | 申请（专利权）人： | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 安娜 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种自动化镀膜系统，包括：真空室装置、转运腔室装置、悬挂操作室，真空室装置内设置有旋转架和旋转架驱动装置，旋转架上设置有挂板；转运腔室装置内设置有机械手装置和第一旋转装置；悬挂操作室内设置有换轨装置和第二旋转装置；换轨装置用于连接转运腔室和悬挂操作室；转运腔室在与真空室进行交换操作时处于真空状态，在与悬挂操作室进行交换操作时，处于大气状态；其中，真空室的镀膜时间、转运腔室的抽真空时间、转运腔室和真空室的交换时间、转运腔室的破真空时间以及转运腔室与悬挂操作室的交换时间的总和等于悬挂操作室的操作时间。本发明能够提高镀膜效率和镀膜质量，并且占地面积少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动化 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
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