[发明专利]一种蘑菇型结构神经突触仿生器件在审

专利信息
申请号: 202110410299.8 申请日: 2021-04-16
公开(公告)号: CN113193113A 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 吴卫华;戚佳怡;汤瑶;朱小芹;薛建忠 申请(专利权)人: 江苏理工学院
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 杭行
地址: 213011 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开一种蘑菇型结构神经突触仿生器件,是采用0.13μm CMOS工艺制备而得的蘑菇型结构,该器件结构自下至上依次包括Si(100)基片制备的衬底、Al材料底电极、SiO2中间介质层、在中间介质层上形成的W加热电极、Ti‑Zn‑Sb存储介质层、TiN粘附层和Al材料顶电极。Tix(ZnySb100‑y)1‑x相变材料作为神经突触仿生器件中的存储介质,可以在5~500 ns电信号脉冲宽度作用下实现多态阻值之间的转换,其中间态电阻值能够提供约8 bit的分辨率,开关电阻差异约为2个数量级。在相同脉冲操作下可以实现电阻对脉冲个数的线性响应,符合突触仿生器件的电学性质要求。
搜索关键词: 一种 蘑菇 结构 神经 突触 仿生 器件
【主权项】:
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