[发明专利]掩膜支撑片、掩膜支撑片组件及精细金属掩膜组件及制造方法在审
| 申请号： | 202110410312.X | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN114438442A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 庾弘宇 | 申请（专利权）人： | 皮姆思株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;H01L21/308 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 金兰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及在显示装置制造中所使用的薄膜工艺用掩膜支撑片、掩膜支撑片组件及精细金属掩膜组件、及它们的制造方法。公开的实施例涉及的掩膜支撑片，作为在显示装置制造中所使用的薄膜工艺用掩膜支撑片，所述掩膜支撑片是一体型的金属片，所述掩膜支撑片包括：多个显示开口部，与每单位显示装置的显示区域对应；以及多个突出端，从边缘向外轮廓方向突出，所述掩膜支撑片被构成为支撑精细金属掩膜条，该精细金属掩膜(Fine Meta l Mask)条包括与所述显示区域内的细节图案对应的多个细微开口部，所述显示开口部分别包括盆地型凹口，该盆地型凹口呈与精细金属掩膜条相邻一侧凹陷的形态。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 组件 精细 金属 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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