[发明专利]一种有机无机杂化复合材料的气体传感器制备方法有效
| 申请号： | 202110410826.5 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113189171B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 冯侨华;张欢欢;李萍;孙宇霆;施云波 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明属于气体敏感型传感器领域，具体是涉及一种有机无机杂化复合材料的气体传感器制备方法。本发明主要是为了解决无机气敏材料的半导体气体传感器选择性差、工作温度高，而有机气敏材料的半导体气体传感器灵敏度低，响应慢的问题，提出了一种有机无机杂化复合材料的气体传感器制备方法，包括：一、无机气敏材料二氧化锡的制备；二、有机气敏材料聚合物聚苯胺的制备；三、MEMS气体传感器器件制备；四、气敏材料滴涂与器件烧结；本发明制备的气敏材料比无机气敏材料选择性好、工作温度低，比有机气敏材料灵敏度高，制备的微型器件温度分布均匀、功耗低，可用于气体传感器的加热装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 无机 复合材料 气体 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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