[发明专利]一种雪崩光电二极管和光电倍增管探测器有效
申请号: | 202110412278.X | 申请日: | 2021-04-16 |
公开(公告)号: | CN113270508B | 公开(公告)日: | 2023-01-20 |
发明(设计)人: | 胡海帆;秦秀波;赵宏鸣;刘鹏浩;李志垚;马喆;肖柯 | 申请(专利权)人: | 中国航天科工集团第二研究院 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/107;H01L27/146;H01J43/04 |
代理公司: | 中国航天科工集团公司专利中心 11024 | 代理人: | 张国虹 |
地址: | 100854 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开一种雪崩光电二极管和光电倍增管探测器,涉及辐射探测或弱光探测技术领域,以解决探测器探测效率低的问题。所述雪崩光电二极管包括衬底和入射光抗反射层,衬底包括多个掺杂区,掺杂区是在衬底掺入杂质离子所形成的,掺杂区包括光线入射端P型重掺杂区、N型重掺杂区、P型重掺杂区、P型掺杂区和P型低掺杂区。所述光电倍增管探测器包括多个雪崩光电二极管单元,多个雪崩光电二极管单元并联连接,每一雪崩光电二极管单元均包括淬灭电阻和上述技术方案所涉及的雪崩光电二极管,雪崩光电二极管和淬灭电阻串联连接。本发明提供的雪崩光电二极管和光电倍增管探测器用于辐射探测或弱光探测中。 | ||
搜索关键词: | 一种 雪崩 光电二极管 光电倍增管 探测器 | ||
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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