[发明专利]一种基于深度学习的用于超紫外的光学邻近校正方法有效
申请号: | 202110412412.6 | 申请日: | 2021-04-16 |
公开(公告)号: | CN113238460B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 肖理业;赵乐一;易俊男;其他发明人请求不公开姓名 | 申请(专利权)人: | 厦门大学 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G06N3/04;G06N3/08 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人: | 张松亭;李艾华 |
地址: | 361000 *** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种基于深度学习的用于超紫外的光学邻近校正方法,包括:正演模块和反演模块两部分;其中,正演模块用于快速准确地将掩膜映射到堆叠上方平面对应的近远场,反演模块用于快速准确地将目标成像映射到校正后的掩膜。本发明提供的方法与传统的全波模拟相比,正演模块可以大大提高计算效率,包括所需的运行时间和内存;同时,与耗时的迭代OPC方法不同的是利用训练好的反演模块输入目标成像即可得到修正后的掩膜。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 深度 学习 用于 紫外 光学 邻近 校正 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门大学,未经厦门大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110412412.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种环保可降解的汞吸附包
- 下一篇:断路器机械功能测试方法及其设备