[发明专利]避免镜面表面出现断层孔洞的烧结碳化硅的加工方法有效
| 申请号： | 202110414009.7 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113118879B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 周子元;王志豪;李文宗;黎发志 | 申请（专利权）人： | 南京英田光学工程股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B13/01;B24B49/12 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 许小莉 |
| 地址： | 210028 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种避免镜面表面出现断层孔洞的烧结碳化硅的加工方法。本发明方法包括如下步骤：S1.利用CCOS技术对反应烧结碳化硅反射镜进行细磨使得面型收敛至PV：0.45um，RMS：0.10um；S2.细磨结果后，进行抛光，抛光磨盘材料选用沥青，磨料选用氧化铈，抛光阶段仍然利用干涉仪与CCOS技术相结合进行抛光，在保持面型不变的情况下，观察是否出现白色斑点，如不出现白色斑点则完成该道工序；S3.抛光结束后进行改性镀膜；S4.改性结束后继续抛光至达到产品要求。本发明可以避免镜面表面断层，孔洞等现象，可得到面型与表面较好的反射镜。 | ||
| 搜索关键词： | 避免 表面 出现 断层 孔洞 烧结 碳化硅 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京英田光学工程股份有限公司，未经南京英田光学工程股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110414009.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
